삼성디스플레이가 8.6세대 유기발광다이오드(OLED) 생산라인에 저온다결정실리콘산화물(LTPO) 박막트랜지스터(TFT) 도입을 추진하고 있다. 현재 구축한 산화물(옥사이드) 외 LTPO를 신규 추가하는 것으로, 기술 변경에 관심이 쏠린다.
20일 업계에 따르면 삼성디스플레이는 LTPO TFT 라인 구축을 검토하고 있는 것으로 파악됐다. 이를 위한 핵심 장비 도입을 협의 중이다.
사안에 정통한 업계 관계자는 “삼성디스플레이가 8.6세대 LTPO 장비를 찾고 있다”면서 “현재 내년 4분기 도입이 목표”라고 전했다.
장비는 구체적으로 '엑시머레이저어닐링(ELA)'이다. ELA는 LTPO TFT를 구현하는 필수 설비다. LTPO는 빠른 전자이동도를 특징으로 하는 저온다결정실리콘(LTPS)과 낮은 누설전류를 특징으로 하는 옥사이드를 결합해 만드는데, ELA 레이저를 통해 구현한다.
삼성디스플레이가 8.6세대 제조 공정에 LTPO TFT를 준비하는 건 처음이다. 회사는 그동안 옥사이드 TFT만 구축해 놓고 있었다. 유리기판 원장 기준 월 7500장(7.5K) 규모로, 현재 시험 가동 중에 있다.
삼성디스플레이가 이 옥사이드 TFT 외에 추가로 LTPO를 구축하려는 건 기존 행보와 달라 배경에 관심이 쏠리고 있다.
먼저 시장 대응 강화가 이유로 꼽힌다. 옥사이드 방식과 LTPO 방식 두 가지를 준비해 다양한 고객 주문에 대응하겠다는 것이다.
LTPO는 OLED 대세 기술로 떠오르고 있다. 저전력에 장점이 있는 옥사이드와 전자이동이 빨라 고성능 구현에 유리한 LTPS의 장점을 합쳤기 때문에 보급에 탄력이 붙는 중이다.
삼성디스플레이는 이에 8.6세대에서도 LTPO를 갖춰 놓고 노트북과 모니터 업체 수요에 대응하려는 전략이란 풀이다.
경쟁사 기술 동향도 영향을 미쳤을 것이란 해석이 나온다. BOE, 비전옥스, CSOT 등 중국 디스플레이 업체들은 삼성보다 늦게 8.6세대 투자를 결정했지만 이들 업체는 모두 LTPO를 선택했다.
한 디스플레이 전문가는 “삼성디스플레이만 유일하게 옥사이드 방식”이라며 “주요 고객사가 삼성디스플레이에 LTPO를 요구했을 가능성도 있다”고 전했다.
옥사이드는 ELA, 이온주입장비 등이 필요치 않아 제조 단가를 낮추는데 유리하지만 LTPO 대비 전자이동도가 10분의 1 수준이어서 성능은 LTPO가 더 우수하다.
삼성디스플레이는 8.6세대 생산라인에서 2026년 하반기 출시할 예정인 애플 맥북 프로용 산화물 TFT OLED를 생산할 것으로 알려졌다. 이 패널을 생산할 수 있는 곳은 현재 삼성이 유일해 단독 공급이 예상된다. 삼성디스플레이가 애플에 추가적으로 LTPO TFT 패널을 공급할 지 주목된다.
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